概括松下晶固定位傳感器，選型神視傳感器
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圓間距 間距3mm以上時，可按通常靈敏度進行分離檢測(注5)
適用晶圓盒 SEMI規(guī)格FOUP晶圓盒/開放式晶圓盒
電源電壓 12?24V DC±10%　脈動P-P10%以下
電纜延長 0.15mm2 以上的電纜全長可延長至10m
重量 本體重量：約75g
耐電壓 AC1,000V 1分鐘　所有電源連接端子與外殼之間
絕緣電阻 所有電源連接端子與外殼之間，20MΩ以上，基于DC250V的*阻表
耐振動 頻率10?500Hz　雙振幅3mm　X,Y和Z方向各2小時
耐沖擊 耐久98m/s2(約10G) XYZ方向各5回
投光元件 LED(調制式)
材質纜延長 0.15mm2 以上的電纜全長可延長至10m
12.5±5°注4)消耗電流 65mANPN輸出／PNP輸出　可由切換開關選擇
NPN開路集電極晶體管?流入電流：100mA
外加電壓：30V DC以下(輸出和0V之間)
剩余電壓：1V以下(流入電流為100mA時) 0.4V以下(流入電流為16mA時)
P丙烯 NP開路集電極晶體管
源電流：100mA
外加電壓：30V DC以下(輸出和+V之間)
剩余電壓：1V以下(源電流為100mA時)
 0.4V以下(源電流為16mA時)
輸出動作 可用切換開關選擇入光時ON/非入光時ON
短路保護 裝備(自動復位)
反應時間 500μs以下
光面照明度1,500lx以下殼：ABS及SUS301、透鏡：
電纜 0.15mm2 5芯橡皮電纜，長300mm    外殼：ABS及S
US301、透鏡： 丙烯
電纜 0.15mm2 5芯橡皮電纜，長300mm
英寸以上的半導體晶圓(注2)
可對應檢測面 有受光方向反射面的端面形狀的檢測面(注3)
檢測角度 0?＋55℃(注意不可結露)、存儲時：?10?＋70℃
使用環(huán)境濕度 35?85%RH、存儲時： 35?85%RH
使用環(huán)境照明度 白熾燈：受光面照明度3,000lx以下、熒光燈
工作狀態(tài)指示燈 橙色LED(輸出ON時亮起)

 概括松下晶固定位傳感器，選型神視傳感器